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掩膜版檢測及檢測項目

掩膜版一般指光掩膜基版,是制作微細光掩膜圖形的理想感光性空白板,通過光刻制版工藝可以獲得所需光掩膜版。復達材料檢測機構可提供掩膜版測試服務,為CMA資質認證機構,第三方材料實驗室,可將客戶提供的樣品進行各項成分分析、性能測試,接下來為您介紹掩膜版綜合性能檢測范圍及相關標準。


掩膜版檢測范圍


濺鍍掩模版、TFT-Array用掩模版、TFT-CF用掩模版、遮光膜光學掩模版、透明基板光學掩模版等。


掩膜版檢測項目


反射率檢測、光學密度檢測、直角度檢測、CD精度檢測、位置精度檢測、最小線寬檢測、外觀質量檢測、表面平整度檢測、鉻膜厚度檢測、最小缺陷檢測等。


掩膜版檢測.png


掩膜版檢測標準


1、SJ/T 11516-2015 薄膜晶體管(TFT)用掩模版規范


2、GB 50073-2001 凈化廠房設計規范


3、SJ/T 10861-1996 鉻版光密度的測試方法


4、GB/T 16880-1997 光掩模缺陷分類和尺寸定義的準則


5、GB/T 2828.1 2003計數抽樣檢驗程序第1部分:按接收質量限(AQL)檢索的逐批檢驗抽樣計劃


6、SJT 10584-1994 微電子學光掩蔽技術術語


7、SJ/T 10857-1996鉻版及其測試方法


掩膜版檢測流程


1、溝通需求:了解待檢測項目,確定檢測范圍;


2、報價:根據檢測項目及檢測需求進行報價;


3、簽約:簽訂合同及保密協議,開始檢測;


4、完成檢測:檢測周期會根據樣品及其檢測項目/方法會有所變動,具體可咨詢檢測顧問;


5、出具檢測報告,進行后期服務;


以上是有關掩膜版檢測的相關內容介紹,復達檢測將會為您提供完備的掩膜版檢測方案,更多檢測需求可咨詢實驗室工程師,為您一對一解答。


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